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高比表面积的图案化掺硼金刚石电极及其制备方法和应用

937   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:54:07
本发明公开了一种高比表面积的图案化掺硼金刚石电极及其制备方法和应用，使用光刻方法在不锈钢薄片上刻出规则的图案；将具有通孔图案的不锈钢薄片覆盖在衬底表面，然后共同置于化学气相沉积炉中，采用基台限位固定；于衬底表面的暴露部份沉积生长图案化掺硼金刚石层即得图案化掺硼金刚石电极，化学气相沉积过程中，控制衬底的表面温度为750‑950℃，生长气压为2.5‑5KPa,通入的甲烷、硼烷、氢气的比例为(1‑20)：(0.3‑1)：(45‑49)；最后将制备的掺硼金刚石电极作为工作电极，铂片作为对电极,Ag/AgCl电极作为参比电极组装成检测电极系统；该发明的制备方法相比现有技术更简单，操作更容易控制，制作成本也更低。
声明：
“高比表面积的图案化掺硼金刚石电极及其制备方法和应用” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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