本发明公开了一种成品率高且品质稳定的柔性OLEM、AMOLEM超薄玻璃盖板薄化工艺,包括以下步骤:一、前清洗;二、一次蚀刻:对各个玻璃板进行化学蚀刻做一次整体强化,将产品厚度化学强化蚀刻至200±10μm;蚀刻结束对产品进行厚度区间分类,每相差5μm为一个区间进行区分,便于后续二次蚀刻作业;三、玻璃板深度薄化前处理:将需蚀刻的同一区间的两片产品分别贴附于支撑板上下表面;然后用耐酸胶带半边将两条短边、长边分别进行封边贴附;使贴合边的三层板状料被胶带完全保护;四、二次蚀刻:过程中需对三层叠装板的固定位置进行测厚作业,直至达到目标厚度:目标厚度=两枚待蚀刻面玻璃厚度和+支撑板厚度‑减薄量;五、分离产品;六、擦拭;七、外观终检。
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