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梳状纳米结构氧化锌气敏传感器的制备方法

602   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:54:07
本发明属于一维纳米结构半导体氧化物气敏传感器制备技术领域，涉及一种利用化学气相沉积方法制备可以在室温条件下进行检测一氧化碳的梳状纳米结构氧化锌气敏传感器的方法，先按照需要选择晶体的生长条件，利用改进的化学气相沉积法制备出梳状纳米结构氧化锌；再将梳状纳米结构氧化锌分散到金单元格阵列上，将存在氧化锌的两相邻单元格用微电极连接，采用常规半导体封装工艺封装在外壳内，制备出氧化锌气敏传感器；传感器在常温下工作，其结构简单，功耗小；制备工艺简单，成本低，生长的氧化锌晶体纯度高、完整性好；气体接触反应的表面积大；接触电阻小，梳干处的氧化锌起收集、传导电流的作用，传感灵敏度高。
声明：
“梳状纳米结构氧化锌气敏传感器的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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