本发明公开了一种超高灵敏度多巴胺生物传感器及其制备方法,属于生物传感器领域,实现了对多巴胺的快速
电化学响应,具有低至0.4pM的检测限,优异选择性,且工艺简单、成本低廉,适合临床诊断和生理功能检测,特别是活体多巴胺静态基础值的测定。本发明的多巴胺生物传感器包括从上至下依次为HfO
2超薄膜、导电硅衬底、Al电极;采用与半导体工艺兼容的热ALD或等离子体增强ALD在导电硅基底上低温沉积HfO
2超薄膜;再在硅衬底背面蒸镀金属铝以形成良好的电学接触,即获得了多巴胺生物传感器。
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