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半导体工艺及半导体设备

1065   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:45:50
一种半导体工艺，适于使用半导体设备对半导体晶片进行显影工艺。半导体工艺至少包括下列步骤。在化学溶液经由半导体设备的喷嘴提供至半导体晶片上的期间，藉由半导体设备的摄影装置依序撷取喷嘴的第一图像及第二图像。计算第一图像及第二图像的分析区域中化学溶液所占的比例，以判断半导体设备是否异常。另提供一种适于对半导体晶片进行显影工艺的半导体设备。
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