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高精度微流道网络制作方法

840   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:45:50
本发明公开了一种高精度微流道网络制作方法，采用了光刻、刻蚀、电铸、电镀、注塑、键合、粘接等程序，进行了微纳加工、电化学等方法的多套微流道网络高精度模具制备，突破了高质量图形结构和使用寿命的金属模具制备技术难点。该发明将微纳加工与高精度机械加工技术融合，集成微流控传感芯片跨尺度制备技术，制备出具有较大深宽比、侧壁陡峭、表面平整的精细的结构微流道网络。可以构建适用于多种微小样本的高通量、微型化、高性能微流道网络芯片，能够适用于多种终端应用，可以广泛应用于生物、化学、医学分析等科研及工程领域。
声明：
“高精度微流道网络制作方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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