本发明公开了倾斜光纤光栅表面超结构增强表面等离子共振氢敏传感器,由ASE宽带光源、偏振控制器、单模光纤、气室底座、进气口、出气口、Pd/Au薄膜光纤氢气传感器、光谱分析仪和气室屏障组成;其中Pd/Au薄膜光纤氢气传感器表面镀有Au纳米薄膜以及Pd纳米薄膜,纤芯刻有倾斜的布拉格光栅。用化学液相还原法制备Au、Pd纳米粒子。用分子自组装(SAMs)技术和化学镀膜法实现Au、Pd纳米薄膜在石英基底上的可控生长。膜内倾斜的布拉格光栅使光可以从纤芯耦合到由光纤包层引导的大量高阶模式中,导致辐射模耦合增强。在1.5%‑4%氢气浓度范围内,有良好的线性响应特性,且氢气浓度每变化1%,光谱幅值变化量为0.005dB,具有较好的灵敏性与分辨率。
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