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极微流量气体取样阀门及其制造方法

1090   编辑：管理员   来源：中冶有色网  
2023-03-19 07:45:50
本发明适合于各种含气装置或器件作气体微量 抽样分析之用。阀门的关键部分是一具有孔径小达 10微米以下的微漏孔的玻璃片。这个微漏孔是通过 高速钻削、化学腐蚀和电击穿三道工序制作而成的。 阀门的开闭由一碗状弹性隔膜带动一弹性圆块对微 漏孔进行紧压封闭和开启。本发明具有抽样气体极微漏率稳定、开闭容易、 不易堵塞、质量岐视小，受环境温度影响小等优点， 并且具有标准漏孔所具有的特性。
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“极微流量气体取样阀门及其制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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