本发明公开了一种基于扫描电镜的元素晶界偏析半定量方法,该方法包括样品制备、并在晶界处进行能谱分析,根据公示
得到晶界处的偏析量,其中在晶界处和晶粒内的偏析元素固溶值来分别定义
Nrb是参考元素的位密度,用软件Casino模拟蒙特卡洛电子轨迹可得到电子束斑直径d1,可以再根据公示
可以得到偏析元素在晶界处的化学宽度。本发明在扫描电镜的平台下实现了晶界偏析的半定量,还具有制样方便、操作相对容易等优点。本发明方法是通过扫描电镜在晶界上收集能谱,并从晶界能谱中扣除晶粒的贡献后,获得晶界处的化学成分信息,能广泛应用于材料表征技术领域。
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