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用于物体的表面处理的装置

1087   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:45:47
本发明涉及一种用于物体的表面处理的装置，其带有容纳待处理的物体(12)的处理腔(14)、向物体(12)对准的用于UV辐射的辐射源(16)和用于以工作流体加载处理腔(14)的设备(24)，其中，工作流体包含至少一个惰性成分和至少一个光化学活性的活性成分。根据本发明，提出一种构造用于检测在位于处理腔(14)中的工作流体处和/或在物体(12)处的测量数据的测量单元(20)，其中，设置有与测量单元(20)相连接的控制单元(18)用于根据所检测的测量数据影响工作流体的组成。
声明：
“用于物体的表面处理的装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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化学分析
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