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微纳结构激光窗口及其制备方法

586   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:41:39
本发明公开了一种具有高透过高阈值抗激光损伤性能的微纳结构激光窗口的制备方法，其步骤包括：(1)利用化学试剂超声清洗抛光后的石英玻璃；(2)利用微量注射泵进行聚苯乙烯微球自组装并将其转移到超声清洗后的石英玻璃上；(3)利用反应离子刻蚀技术对带有聚苯乙烯微球的石英基底进行刻蚀，在石英基底上制备微纳结构；(4)利用化学试剂对石英基底进行清洗，除去未完全反应的聚苯乙烯微球；(5)对制备的石英微纳结构激光窗口进行透过率测试，并利用强激光对其进行辐射检测其性能，证明具有高透过高阈值抗激光损伤的微纳结构激光窗口的成功制备。该方法制备的微纳结构激光窗口透过率高，增透波段宽，抗激光损伤性能强，并且方法简单。
声明：
“微纳结构激光窗口及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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