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物理气相沉积中钛或氮化钛颗粒控片的使用方法

895   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:41:38
本发明涉及一种物理气相沉积中钛或氮化钛颗粒控片的使用方法，包括：步骤A：提供作为控片的晶圆片；步骤B：在所述晶圆片的表面形成氧化层；步骤C：在所述氧化层上进行物理气象沉积，以检测钛或氮化钛颗粒质量；步骤D：检测完成后，采用钨化学机械研磨方式去除钛薄膜或氮化钛薄膜及部分氧化层；其中，研磨去除的氧化层的厚度不超过生长的氧化层的厚度；步骤E：在下一次检测中，使用研磨后的晶圆片重复步骤C和步骤D；步骤F：当经过多次检测氧化层被完全消耗掉后，重复执行步骤B至步骤E。上述方法，控片的回收率更高，能够使控片重复使用的次数更高，降低控片的使用成本。
声明：
“物理气相沉积中钛或氮化钛颗粒控片的使用方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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