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晶圆湿式清洁系统及方法

758   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:41:37
本公开涉及一种晶圆湿式清洁系统及方法，实施例公开一种晶圆清洁过程，其中对配置以从晶圆去除金属污染物的排出的清洁溶液进行取样和分析，以决定溶液中金属离子的浓度。晶圆清洁过程包含于晶圆清洁站中在一或多个晶圆上分配化学溶液；收集分配的化学溶液；决定化学溶液中污染物的浓度；响应污染物的浓度大于基准值，调整清洁过程中的一或多个参数；并响应于污染物的浓度等于或小于基准值，将一或多个晶圆转移出晶圆清洁站。
声明：
“晶圆湿式清洁系统及方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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