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AlN双层薄膜的单电极水听器

815   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:36:53
本发明新型结构的压电水听器主要包括真空腔，位于真空腔上面的双层AlN薄膜的压电结构。位于真空腔上面的压电层接收到声波信号时，空腔上的薄膜会产生形变，由于AlN薄膜的压电效应，薄膜表面会产生极化电荷，从而产生微弱的电信号，通过外部的信号检测电路来检测声波信号。该水听器由于使用压电材料AlN薄膜，该压电薄膜具有声阻抗低，声学耦合高、耐高温高压、检测频带宽和化学性质稳定等优点。双层压电薄膜结构可以充分提高AlN薄膜的压电性能，基于金属钼作为单电极可以简化工艺，提高成品率。MEMS水听器声波信号监测频带宽、灵敏度高、与CMOS兼容、无毒，适用于深海领域的声信号检测、生物传感技术以及复杂工业环境中的过程控制等领域。
声明：
“AlN双层薄膜的单电极水听器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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