合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:中冶有色 >

有色技术频道 >

> 化学分析技术

> 外延炉尾气净化器

外延炉尾气净化器

1027   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-19 07:36:52
本实用新型涉及一种废气处理装置,特别是涉及一种对EPI、PLOY或PECVD化学气相沉积工艺尾气进行净化处理的外延炉尾气净化器。它具有PID控制器(35)、实时检测外延炉尾气净化器的进气口(8)的负压情况的负压检测装置(34)和控制循环泵组(21)的电机的转速的变频器(36),负压检测装置(34)安装在进气口(8)处,负压检测装置(34)接PID控制器(35)的输入端,变频器(36)接PID控制器(35)的输出端。本实用新型的外延炉尾气净化器能实时检测外延炉的尾气排放量,根据外延炉尾气排放量控制电机转速,在尾气排放比较少的情况下,控制电机低速运转,达到节能的效果。
声明:
“外延炉尾气净化器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签:
化学分析
全国热门有色金属技术推荐
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

报告下载

第二届关键基础材料模拟、制备与评价技术交流会
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记