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具有宽计量工艺窗口的棱镜耦合应力计

810   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:36:50
棱镜耦合系统和方法包括使用棱镜耦合系统收集化学强化制品的初始TM和TE模式谱，所述化学强化制品具有折射率分布曲线，并且所述折射率分布曲线具有近表面的尖峰区域和深区域。检验初始TM和TE模式谱以观察它们是否落在优选测量窗口内，所述优选测量窗口可在选定容差内精确估算膝应力。如果未落在优选测量窗口内，则改变棱镜耦合系统的测量配置并且收集新的TM和TE模式谱。重复该过程直到新的TM和TE模式谱落在优选测量窗口内。接着使用该新的TM和TE模式谱来确定膝应力。改变测量配置可包括改变以下中的至少一项：测量波长，界面流体厚度和界面流体折射率。
声明：
“具有宽计量工艺窗口的棱镜耦合应力计” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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化学分析
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