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自驱动自传感微悬臂传感器、制作方法及其应用

873   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:36:50
一种自驱动自传感微悬臂传感器、制作方法及其应用，涉及传感器和肿瘤标记物的检测技术领域。传感器由在悬臂段的两端分别连接检测段和接线段组成，悬臂段和检测段的横断面分别由基底层以及依次设置在基底层的同一侧的下电极层、压电层、上电极层及顶层组成；下电极层和上电极层各自裸露于接线段的两个自由端。在微型悬臂传感器的检测段的上电极层进行电化学表面功能化材料的修饰后，用于检测电压信号。本发明具有检测设备投入少、操作方便、样品耗量小、环境污染少、检测效率高、检测精度高、灵敏度高的特点。
声明：
“自驱动自传感微悬臂传感器、制作方法及其应用” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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