本发明公开了一种硅基表面增强拉曼基底的制备方法,所述单晶硅通过表面微结构制备的方法获得有序金字塔结构,在有序的金字塔之上镀有一层金膜;其制备方法包括:(1)采用碱性溶液腐蚀获得单晶硅表面有序金字塔结构;(2)采用离子溅射镀膜法在有序金字塔结构的单晶硅表面镀上一定厚度的金膜。该方法得到的复合纳米粒子具有良好的化学稳定性,可检测低浓度物质,浓度低达10‑7mol/L,存放长时间所得吸收光谱图几乎无变化。该制备方法操作简便、成本低廉、可重复性好且易于控制金字塔尺寸与金膜厚度。
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