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掺磷非晶金刚石薄膜电极及其制备方法

829   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:36:10
掺磷非晶金刚石薄膜电极及其制备方法,它涉及一种非晶金刚石薄膜电极及其制备方法。它为了解决非晶金刚石薄膜导电性能差,内应力大,与基底粘结力差的问题。通过以下步骤实现:(一)基底清洗;(二)离子刻蚀;(三)通掺杂气体;(四)利用过滤阴极真空电弧沉积系统进行薄膜沉积;(五)导线连接;(六)电化学处理,得到掺磷非晶金刚石薄膜电极。掺磷非晶金刚石薄膜电极与MEMS体系相容,适于制成大面积电极用于污水处理,也适于制成微电极用于体内在线检测,并且具有经济、适用、易于产业化的特点。
声明：
“掺磷非晶金刚石薄膜电极及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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