本发明公开了一种光学用
铝合金表面多维可控反应能束复合抛光方法,其特征在于包括有以下步骤:(1)小磨头数控研抛:采用铝合金小磨头数控研抛方法,制备获得光学级铝合金材料样品;(2)化学预抛光:采用碱性抛光液对样品进行化学预抛光,在样品的表面形成氧化层;(3)超声前处理:在超净室采用去离子水对样品进行超声波清洗;(4)离子束刻蚀:(5)表面质量检测:检测样品表面是否满足指标要求,若不满足,重新进行离子束刻蚀,直到得到满足指标要求的铝合金材料。与现有技术相比,本发明的方法能够在铝合金表面获得光学用超光滑表面。
声明:
“光学用铝合金表面多维可控反应能束复合抛光方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)