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实时反馈的纳米电子器件自动化装配制造方法

950   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:36:08
本发明涉及纳米操作领域，具体地说是涉及一种实时反馈的纳米电子器件自动化装配制造方法,其采用闭环实时检测装配方法，通过信号发生器对微电极施加交直流叠加的驱动信号，其中交流信号作为驱动信号，直流偏置信号作为检测信号；通过扫描直流偏置信号跳变实现实时反馈；本发明采用浮动电势介电泳技术，基于闭环控制思想，解决了纳电子器件有效装配效率低、难于自动化、规模化装配的难题，具有不破坏纳米管线本身物理、化学性质的特点，根据不同纳米材料独特的物理化学特性，可测出各种力的微小变化。
声明：
“实时反馈的纳米电子器件自动化装配制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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