本发明是一种微机械往复膜片泵,特别是涉及生物化学微量分析用的微机械往复膜片泵。它采用压电驱动器件作为动力源,使泵腔膜片产生振动,从而迫使泵腔往复地吸入、泵出流体;本发明采用惯性整流流道作为无运动件阀,使得沿一个方向的流动阻尼大于相反方向的流动阻尼;本发明采用惯性环行腔,进一步明显增大两个方向的阻尼差,有利于提高输出泵压,并减小由于输出回流导致的流量输出脉动。本发明具有结构简单易实现、可以驱动含有较大颗粒流体、不破坏流体中的细胞或大分子、无死体积、相同体积液体流过泵腔的时间一致等优点。本发明适用于在截面尺寸为几十、几百微米的微流道中驱动微小体积流体。
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