本发明提供了一种有机铵金属卤化物薄膜的制备装置及制备和表征方法,属于
钙钛矿材料领域,通过利用光照辅助化学气相沉积方法在带有金属卤化物的基底上结合异相反应扩散动力学和平衡反应热力学双重控制,成功制备出了由纵向贯穿的大晶粒构成的高质量的ABX3型钙钛矿薄膜,并进一步通过原子力显微镜、扫描电子显微镜和模拟太阳光下的电流‑电压(J‑V)曲线等表征手段进行了表征分析。相对于现有技术,本发明公开的制备装置及制备方法具有反应迅速、操作简单、控制精确、可重复性高、可大面积制备、薄膜质量高等显著优点。
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