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采用多层驱动膜结构的微驱动器及其制作方法

809   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:36:06
本发明涉及一种采用多层驱动膜结构的微驱动器及其制作方法。它包括具有驱动腔及进、出水管道结构的上体、两个扩张管/收缩管结构的下体及具有Si/SiO2/Ti/Pt/PZT/Cr/Au的多层驱动膜。在Si材料正面采用溅射Ti/Pt薄膜和光刻的方法制备下电极、溶胶-凝胶工艺制备PZT压电薄膜,利用蒸发Cr/Au薄膜和光刻的方法制备上电极,形成以Si薄膜为基底的多层驱动膜结构。微驱动器的上、下体分别采用Si刻蚀工艺制备,并利用Au-Si键合技术焊接,具有结构简单、输出流量大、驱动频率高、功耗低、寿命长的特点,适合于批量集成制作。可广泛应用于药物微量传送、燃料微量喷射、细胞分离、集成电路冷却及微量化学分析等领域。
声明：
“采用多层驱动膜结构的微驱动器及其制作方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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