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微流控芯片中被动微混合器和微反应器的制作方法

698   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:33:29
一种微流控芯片中被动微混合器和微反应器的制作方法,首先进行底面和侧面均带有亚微结构的玻璃母模芯片的制作,利用玻璃母板芯片制备三面或全通道均具有亚微结构的全玻璃芯片或全玻璃混合芯片,或通过浇注聚合物翻模得到与玻璃母板微结构互补的阳模,利用该阳模再次浇注复制得到具有玻璃母板结构的聚合物基材的芯片,进而通过封合制得全聚合物混合芯片或复合芯片。本发明方法可以用玻璃为基础材料,基材成本低,机械强度高,光学透明,对制作环境无特殊要求,只需一次曝光和一次刻蚀,形成的混合通道中的亚微结构具有一定的流线型,在微流控分析芯片及微流动化学反应器工程中有广泛的应用潜力。
声明：
“微流控芯片中被动微混合器和微反应器的制作方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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