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溶胶-凝胶薄膜气敏传感器制造方法

800   编辑：管理员   来源：中冶有色网  
2023-03-19 07:33:28
本发明公开了一种溶胶－凝胶薄膜气敏传感器 制造方法，其制作步骤及方法是：(1)选择光纤光栅；(2)确定镀 膜厚度；(3)光纤光栅包层涂膜；(4)制备多孔气敏薄膜；(5)传 感头制作。本发明提供了一种小型化、高集成、可遥测的高灵 敏溶胶－凝胶薄膜气敏传感器的制造方法，应用这种方法所制 造的传感器，对检测气体具有很高的灵敏度，对膜层折射率的 测量分辨率可高达10－8，它集 中了薄膜传感器和光纤光栅结构的优点，可广泛应用于光化学 传感器中。
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“溶胶-凝胶薄膜气敏传感器制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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