本发明公开了一种富铟磷化铟多晶料的循环利用方法,包括:第一步,对富铟InP多晶分选、切出富铟较轻和严重InP多晶;第二步,对富铟较轻InP多晶化学腐蚀、清洗及烘干;第三步,拉制InP多晶棒;第四步,第一电学检测,分拣出第一电学参数合格InP多晶和不合格InP多晶;将合格InP多晶进行第五步储存;第六步,将第一步富铟严重InP多晶和第四步的不合格InP多晶进行化学腐蚀、清洗以及烘干;第七步,水平合成;第八步,第二电学检测、分拣出第二电学参数合格和不合格InP多晶,合格InP多晶进行第五步,不合格的InP多晶积攒,积攒后循环以上操作。该方法有效循环利用富铟多晶料,得到高化学配比度、高纯InP多晶,避免了磷化铟单晶原料浪费,降低生产成本。
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