本实用新型涉及一种研磨液回收再利用系统,包括废液收集处理装置组合体,废液收集处理装置组合体内部装设有PFA过滤膜组合体,废液收集处理装置组合体顶部的压力测试口处装设有压力传感器,废液收集处理装置组合体底端设有化学品进液口和化学品出液口,化学品进液口处设置的泄漏检测口处装设有泄漏传感器,化学品出液口通过PFA管道分别连接废液收集桶、回收混合桶槽主体,化学品出液口与废液收集桶之间的管道上装设有测量
仪器仪表,压力传感器、泄漏传感器、测量仪器仪表分别通过线路连接PLC控制系统;本实用新型操作过程安全可靠,实现全自动操作,可由废液再生新液,减少新液使用量,降低了成本,减少了废水系统处理负荷。
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