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距离监控装置

876   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:33:28
一种距离监控装置，适用于化学机械研磨机，化学机械研磨机的研磨头包括框架及薄膜，薄膜装设于框架上，且薄膜与框架于研磨头中形成多个气囊。距离监控装置包括多个距离检测器，分别设置于气囊所对应的框架上，将各个距离检测器位于框架上的位置设为基准点，各个距离检测器用以测量各个基准点与薄膜之间的距离。本发明可使经研磨后的基材具有较佳的表面平坦度。
声明：
“距离监控装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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