本实用新型涉及一种带回收功能的补液装置,包括设置在工位上的操作槽以及临近操作槽的缓存罐,操作槽和缓存罐之间分别通过补液管和回收管连通,缓存罐通过厂务端供液管将厂务端供给的化学液引入缓存罐内暂存,缓存罐通过缓存罐排放管将缓存罐内的化学液排放;回收管上安装第一三通阀,第一三通阀的第三端通过操作槽排液管连接至缓存罐排液管,补液管上安装泵和过滤器;过滤器的两端通过应急管连通,应急管上安装手动阀;操作槽和缓存罐之间还设有检测管,过滤器至操作槽之间的补液管上安装第二三通阀,第二三通阀的第三端连接检测管的其中一端,检测管的另一端与缓存罐连通,检测管上安装流量计。本实用新型具有补液速度快及可回收循环利用特点。
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