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制作扩散阻挡层的方法

882   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:33:26
本发明提供了一种制作扩散阻挡层的方法,该方法包括:在反应腔中通入稀释性气体、三甲基硅烷和氨气,利用多频等离子化学气相沉积在填充于互连槽的铜表面和介质层表面淀积一层扩散阻挡层。采用本发明的方法,利用多频等离子化学气相沉积,缩小了扩散阻挡层的折光指数的变化范围,进一步减小了检测获得的器件的击穿电压的变化范围。
声明：
“制作扩散阻挡层的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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化学分析
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