合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:中冶有色 >

有色技术频道 >

> 化学分析技术

> 钼基溅射高压极板及制备方法

钼基溅射高压极板及制备方法

967   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-19 07:33:26
一种钼基溅射高压极板及制备方法,该高压极板 以钼板为基,在其两面覆有溅射的钽金属层,在其一端焊有接 地极,其方法包括:对钼片精轧,钼基板采用模具冲压成型, 用化学试剂对钼基板表面进行抗氧化处理,进真空炉烘干,温 度250℃,时间1小时,采用物理气相沉积方法,将钽在真空状态下,真空度为2×10-2Pa,多弧溅射在钼基板两表面上,导电层表面粗糙度达到,平面度达到±0.01,温度为105±5℃、时间为20~40分钟、钽溅射厚度为:0.005-0.01mm,高压极板厚度可以做到0.16~0.19mm,点焊接地极;本发明的极板薄,结构合理,引出极简化,可使检测器电离室容积增大,提高了检测器的转化效率和分辨率,降低了成本。
声明:
“钼基溅射高压极板及制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签:
化学分析
全国热门有色金属技术推荐
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

报告下载

第二届关键基础材料模拟、制备与评价技术交流会
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记