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湿式蚀刻机台的清洗装置及清洗方法

767   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:33:26
本发明提供一种湿式蚀刻机台的清洗装置，包括：化学槽、水洗槽、挡板以及基板传送通道，其中，所述挡板上连接有振动马达，所述基板传送通道下方设有传感器，当所述传感器检测到第一片所述玻璃基板的前端通过所述基板通道到达预设位置时，所述基板传送通道停止传送所述玻璃基板，且所述振动马达启动工作以使所述挡板振动，将所述挡板上的所述药液凝结成的液滴振落，当所述振动马达停止振动时，所述基板传送通道继续将第一片所述玻璃基板通过所述化学槽传送至所述水洗槽。本发明可以防止生产过程中挡板上的药液液滴滴落到玻璃基板上，导致玻璃基板出现不清晰的现象。
声明：
“湿式蚀刻机台的清洗装置及清洗方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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