一基于微电子机械系统(MEMS)及集成电路(IC)的生物传感器可被用于感测或检测不同的离子及大分子(DNA、RNA或蛋白质)。基于微电子机械系统(MEMS)的生物传感器可以利用杂交、酶扩增方法及一
电化学检测方法,以提高灵敏度及缩小系统体积。所述生物传感器整合于单一基质上。所述生物传感器系统包含至少两个电极。这些电极包括一工作电极,一参考电极和一反电极(辅助电极)。此生物传感器还提供了利用表面张力将试剂和/或溶液小规模限制在所述生物传感器上的装置和方法。该试剂限制系统利用可控制的表面特性及表面张力,使试剂和/或溶液可控制性地与传感器元件(例如电极)接触。该试剂限制系统也可以将生物传感器整合在便携式或手持式装置上,并且不怕振荡及翻转。本发明还提供了与集成电路技术整合的生物传感器。优选将整个传感器系统制造于单一IC基质或
芯片上而无需外接元件及/或仪器以构成完整的系统。该系统优选利用IC方法制造在硅基质上。
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