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药剂监控装置

729   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-19 07:32:31
一种药剂监控装置,包括支架;药液槽,用于盛装药剂,药液槽设于支架上,药液槽设有出液口和回液口;药液循环泵,其入口端通过导管与药液槽的出液口连接,药液循环泵的出口端通过导管与药液槽的回液口连接,用于抽取药液槽中的药剂使药剂流动循环;传感器组,用于检测药剂的物理化学特性参数;显示与控制模块,其分别与药液循环泵、传感器组电连接,用于控制药液循环泵、传感器组启动和关闭,还用于获取传感器组检测到的物理化学特性参数并显示该参数。由于通过设置传感器组,可以实时检测药剂的温度、浓度、PH值等物理化学特性参数,使得工作人员可以根据这些参数进行针对性的操作,提高掩膜版后处理的效果。
声明:
“药剂监控装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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