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研磨盘

656   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:32:29
本实用新型公开了一种研磨盘，属于半导体集成电路制造技术领域，适用于化学机械研磨机上，所述化学机械研磨机内于所述研磨盘的下方设置有激光检测装置，所述研磨盘包括：研磨盘本体；通孔，设置于所述研磨盘本体上，所述通孔对应于所述激光检测装置，并且所述通孔的尺寸大于所述激光检测装置；盖板，设置于所述研磨盘本体上，所述盖板与所述通孔匹配并盖合所述通孔。上述技术方案的有益效果是：通过在研磨盘上开设置一尺寸大于激光检测装置的通孔，对激光检测装置的维护过程中可以通过通孔拆除和安装激光检测装置，不需要拆除研磨盘，极大的缩减了维护激光检测装置所耗费的时间。
声明：
“研磨盘” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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化学分析
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