本发明涉及用于微型液体处理系统中的集成微型悬臂梁、微型电桥或微型膜片。这种微型液体处理系统提供了新型的用于检测该系统中流体的物理、化学及生物特性的检测机理。本发明还涉及具有集成读取元件的微型悬臂梁、微型电桥或微型膜片型传感器。这种结构可使不同液体的层流不混合地流过通道,这将开发出新型的试验用具而且可降低与液体运动相关的噪音。本发明甚至还涉及包含有相邻的或间隔很近的可同时暴露在不同的化学环境中的微型悬臂梁、微型电桥或微型膜片的传感器。
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