本发明提供一种SF
6气体绝缘开关设备内部绝缘故障诊断装置及方法。气体检测管对SF
6气体绝缘开关设备运行过程中分解产生的SO
2和HF进行检测并校正
电化学传感器中SO
2、HF气体组分检测结果;电化学传感器检测出SF
6气体绝缘开关设备运行过程中分解产生的SO
2、H
2S、CO和HF气体组分含量;气相色谱仪对SF
6气体绝缘开关设备运行过程中分解产生的CF
4、SF
6、SO
2F
2、SOF
2、H
2O、S
2F
10以及S
2OF
10的浓度进行标定;气相质谱仪修正气相色谱仪标定的浓度;计算机根据气相质谱仪修正的浓度进行SF
6气体绝缘开关设备内部绝缘故障诊断;由于故障设备运行中不同故障类型产生的SF
6分解产物不同,因此使用由气体检测管、电化学传感器、气相色谱仪和气相质谱仪组成的检测装置进行定性及定量检测。
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