一种用于监控制造
太阳能电池的工艺的方法通常包括:在用于太阳能电池子结构的室中执行反应工艺,其中,该室包括反应溶液,反应溶液包括至少一种化学成分。在反应工艺期间,经由连接至室的检测组件检测化学成分的浓度值。该方法还包括:经由连接至检测组件的控制组件,确定所检测的浓度值是否处于化学成分的预定阈值浓度水平或在预定浓度范围内。当所检测的浓度值不同于预定阈值浓度水平或者不同于预定浓度范围时,在反应工艺期间,改变反应溶液内的化学成分的浓度。本发明还提供了用于监控制造太阳能电池的工艺的装置。
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