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微机械的气体传感器装置和相应的制造方法

647   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:31:49
本发明提出一种微机械的气体传感器装置和一种相应的制造方法。该微机械的气体传感器装置包括：衬底；设置在衬底上的多孔区域，该多孔区域带有背离衬底的顶面、面向衬底的底面、侧面，该侧面可被要感测的气体流过；至少局部地遮盖顶面的覆盖区域，其中，该覆盖区域具有一个或多个气体输入通道，经由所述气体输入通道可把气体引入到多孔区域内；用于产生电磁信号的信号产生机构，所述电磁信号可以在多孔区域内部的气体中传播；用于在气体中传播之后接收电磁信号的信号接收机构；和分析机构，用来基于电磁信号在气体中传播时的变化来获取气体的至少一个化学的或物理的参数。
声明：
“微机械的气体传感器装置和相应的制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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