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新型微加热器及其制备方法

841   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:31:49
本发明具体涉及到一种新型微加热器，其结构包括：承载玻璃片、镀金导电涂层、加热单元（镀铬涂层）、电极柱和铝制热沉平台。本发明采用软光刻微加工技术对镀有金-铬的玻璃片进行加工，实现一个加热片上具备可并行工作的多个加热单元；采用直流电源获得焦耳热，应用铝制热沉平台进行有效散热，以实现快速的响应和稳定的温度控制。本发明体积微小，易于与光学系统相结合以实现实时观测，且耗能低至毫瓦级。本发明不仅能够实现微米尺度面积上温度的局部控制，而且易于与微流动系统高度集成，实现在生物和化学领域高通量分析。
声明：
“新型微加热器及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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