本发明公开了属于微混合器技术领域的一种压电驱动微混合器及其制作方法和控制方法。所述微混合器,由一整体PDMS基板将微流体驱动单元(即:压电泵)和微混合单元(即:混合流道)集成于一体,单晶片压电振子及单向阀片同PDMS基板封装构成压电泵,玻璃底板同PDMS基板封装构成混合流道;压电振子采用不同电压、频率、不同波形及相位交错式驱动电信号予以激励,实现微流体在微混合流道内高频脉动错位式混合。有效克服了微尺度下微流体依靠层流扩散进行混合,混合效率低,时间长等缺点,实现高效湍流混合。本发明优势在于:制作方法简单、成本低、混合效率高、时间短、体积小、易于集成,可广泛应用于分析化学、微化工系统、环境监测、生命科学等领域。
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