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洁净室腐蚀性气体来源确定方法

721   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:31:49
本发明公开了一种洁净室腐蚀性气体来源确定方法，包括如下步骤：（1）提供一洁净室；（2）监测每个所述检测机构的腐蚀试片的电性能参数确定受害区；（3）采集腐蚀试片并辨识出腐蚀性气体包含的化学物质；（4）采集洁净室周围的环境空气并辨识出环境空气包含的化学物质；（5）确定各个机台使用的化学物质和各个工艺使用的化学物质及其衍生物；（6）确定腐蚀性气体的可疑来源；（7）通过计算流体动力学模型模拟各个可疑来源释放的化学物质的流动；（8）确定为腐蚀性气体的来源。本发明的洁净室腐蚀性气体来源确定方法，不但能够检测受害区，而且可以确定腐蚀性气体来源，对洁净室的污染问题达到标准兼职的目的。
声明：
“洁净室腐蚀性气体来源确定方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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