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显影液控制系统

656   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:31:48
本发明公开了一种显影液控制系统,其包括有通过管道与显影液储槽单元连通的化学和水供应单元,用于检测所述显影液储槽单元内显影循环液中显影剂浓度与光刻胶浓度的显影剂浓度检测单元、紫外吸光检测单元,在连通所述化学和水供应单元与所述显影液储槽单元之间的管道上增设有控制单元,所述控制单元分别通过管道及信号数据传输线与所述显影剂浓度检测单元、紫外吸光检测单元连通,对所述显影剂浓度检测单元、紫外吸光检测单元进行校准处理,并根据所述显影剂浓度检测单元、紫外吸光检测单元反馈的信息控制所述化学和水供应单元向所述显影液储槽单元输入去离子水或/和浓纯显影液。具有实时监测与控制的功能,还具有校准功能,可以确保产品的合格率。
声明：
“显影液控制系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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