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单晶硅表面跨尺度减摩抗磨改性方法及表征方法

1014   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:31:48
本发明涉及了一种单晶硅表面跨尺度减摩抗磨改性方法及表征方法，以N‑3‑(三甲氧基硅烷基)丙基乙二胺自组装在硅表面作为基底连接层，在其表面喷覆1‑羧乙基‑3‑甲基咪唑氯盐离子液体和1‑十二烷基‑3‑甲基咪唑六氟磷酸盐离子液体的混合溶液，制备了复合离子液体润滑薄膜，即对单晶硅表面进行了跨尺度减摩抗磨改性。进一步表征了单晶硅表面跨尺度减摩抗磨性能，采用原子力显微镜和超景深显微镜分析了样品的表面形貌；借助红外光谱仪、X射线衍射仪和接触角测量仪对化学组分以及润湿性能进行了表征；采用原子力显微镜和往复式微摩擦磨损试验机分别测试了样片的微/纳摩擦学性能，最后综合磨痕形貌对跨尺度减摩抗磨机理进行研究。
声明：
“单晶硅表面跨尺度减摩抗磨改性方法及表征方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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