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钛及钛合金手术器械表面涂覆TiAlN的方法

727   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:31:47
钛及钛合金表面涂覆TiAlN的制备方法，它涉及一种钛及钛合金表面涂覆TiAlN的制备工艺。本发明按照下述步骤进行：a.准备好钛合金试样材料，然后进行试样镀层制备前的检查，经过在三氯乙烯中超声波清洗、汽油清洗(两次)、水洗、酸洗、乙醇清洗，最后烘干；b.采用8弧源多弧离子镀膜机制备TiAlN镀层，将烘干后的试样装炉，进行离子轰击清洗，之后制备TiAlN镀层，然后真空冷却，出炉；c.TiAlN镀层的制备工艺参数为：靶电流60-70A，基体负偏压为-100～-400V，N2分压0.32Pa，沉积温度500℃和600℃，总沉积时间为120min，镀层厚度约为3μm真空炉冷到80℃，试样出炉；d.涂层表面EDS分析；e.镀膜完成后，经水洗、擦拭烘干、组装、包装。本发明得到的TiAlN化学稳定性好、抗氧化磨损能力强、强度高、耐磨性好。
声明：
“钛及钛合金手术器械表面涂覆TiAlN的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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