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延长C向蓝宝石衬底抛光液使用寿命的方法

668   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:31:47
本发明涉及一种延长C向蓝宝石衬底抛光液使用寿命的方法，该方法的具体过程是：1）在C向蓝宝石进行化学机械抛光过程中，取C向蓝宝石衬底抛光液，用Zeta电位分析仪测量电位，监测C向蓝宝石衬底抛光液的Zeta电位变化情况；2）当监测到C向蓝宝石衬底抛光液的Zeta电位绝对值不大于20mv时，直接向正在使用的C向蓝宝石衬底抛光液中添加非离子表面活性剂，当添加至C向蓝宝石衬底抛光液Zeta电位绝对值不小于30.0mv时停止添加，然后每隔0.5‑1.5小时再次监测Zeta电位，重复上述过程；所述非离子表面活性剂为十二烷基硫酸钠、异构十醇聚氧乙烯醚、壬基酚聚氧乙烯醚中的一种或几种混合物。该方法显著延长了抛光液使用寿命至12小时以上，降低抛光液使用成本达30%以上。
声明：
“延长C向蓝宝石衬底抛光液使用寿命的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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