根据本发明的薄膜阀装置,包括:一个以上的腔室,能够储存生物学或生化学分析所需的流体,或执行生物学或生化学的反应;流孔,连接上述一个以上的腔室,且配置成使所述流体连通到腔室;流孔封闭膜,用于封闭所述流孔;薄膜阀,由流孔和流孔封闭膜构成;多个基底,通过叠层而形成所述流路、流孔及腔室;光盘,由所述流路、流孔、腔室及薄膜阀集成为一体;热源装置,用于向所述薄膜阀供应热源;热传感器,用于测量从所述热源装置供应后经过所述流孔封闭膜的热源量;反馈控制装置,用于控制聚焦促动器。
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