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真空实验平台

757   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-19 07:31:10
本实用新型属于无机化学仪器分析领域,具体涉及一种真空实验平台。目的在于提供一种启动速度快、灵敏度高、漏点定位准确同时又具备抽空功能的真空实验平台。该平台包括真空系统、为真空系统各部件提供电源的电源控制系统、与被检工件进行匹配连接的接口系统,其中真空系统为被检工件提供真空环境和真空指示;电源控制系统控制整机、机械泵、分子泵、离子泵、复合真空计等部件的电源。接口系统为待抽系统、工件提供形态各异的接口和转换头。本平台在准确定位焊接器件的漏点、质谱计制造真空系统辅助抽空、真空系统辅助运行中效果明显,同时,在质谱仪真空实验中,能为离子源等试验提供真空环境;具备抽速快、启动迅速、使用方便、多功能等特点。
声明:
“真空实验平台” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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