本发明公开了一种半导体用洁净管的生产工艺,包括以下步骤:选择特定的管材原材料,并对管材原材料进行成分分析;根据客户需求,对管材原材料进行加工,得到相应尺寸的管件;对管件进行
电化学抛光及半导体级洁净处理;对洁净处理后的管件进行性能检验;将通过检验的管件打包出厂,与现有技术相比,本发明设计合理,工艺简单,可以生产出符合标准的半导体用洁净管,提升国产半导体用洁净管在国内市场的占比额度。
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